レジスト装置の製品一覧
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「コーティングの効果を事前に確かめておきたい」 そんなニーズにお応えするため、吉田SKTではコーティング面の測定も承ります。
コーティング性能測定サービスは、 自社で生産している材料でコーティングの効果を試してみたい、コーティングの導入を検討しているが選定の方法に困っている。 数値化することが難しいコーティング性能を吉田…
メーカー・取扱い企業: 株式会社吉田SKT
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電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途 粉体と溶液の2種類を提供可能!
AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。 Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。 粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。 【粉体】 長期間の…
メーカー・取扱い企業: オプトシリウス株式会社
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シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで!取扱製品をご案内!
当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う 製品をご案内しております。 センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、 「マスクアライナー」や「自動リフトオフ…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥…
メーカー・取扱い企業: 日精株式会社 本社
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自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です!
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像(1流体、2流体)など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます! また、厚膜レジスト…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off
自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。
ウェハ(基板)をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット(キャリ…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現!
ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP! 製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしない…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少量吐出・高速連続吐出・高精度吐出を実現。動画あり
『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 1…
メーカー・取扱い企業: ESER Corporation-Japan(イーサージャパン) さいたまラボ
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自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。 自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では 工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです! 御社のニー…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提案致します!
弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。
メーカー・取扱い企業: 日本カンタム・デザイン株式会社
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デジタル指示計「デジタルストレンゲージメータA5000-17」
ロードセルに接続して重量をデジタルで表示します。
ストレンゲージとは、物体のひずみ測定を利用して荷重測定を行う方法です。 この指示計はロードセルに接続して計測結果を表示させます。 【特長】 ■ディスプレイ2タイプ(マルチ、シングル) ■出…
メーカー・取扱い企業: 株式会社テンサー センサーシステム事業部
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短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off
短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました!
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します! アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズ…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク(PEB)対応自動レジスト現像装置です。
枚葉式で現像、全面露光(反転露光、イメージリバーサル)、ベーク、クーリング機能を搭載。 リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。 当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定さ…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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コンパクト!手動フォトレジスト現像装置(マニュアルデベロッパー)
少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。
当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。 薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。 マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。 研究開…
メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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リチルピュアで解決!高純度性に優れたPFA樹脂リチルライニング
【特長】 〇メタル溶出防止性能に優れたフッ素樹脂ライニング 〇1mmを超える膜厚で安心 〇負圧条件でも使用OK。ベントホール不要。 〇シームレスな皮膜 〇複雑形状に対応 PFA樹脂は半…
メーカー・取扱い企業: 日本フッソ工業株式会社
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純水1/4RC 圧縮空気1/4RC!薬液をスプレー塗布する装置
「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技…
メーカー・取扱い企業: オーエヌ総合電機株式会社
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ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです
スピンコーターに必要なユーティリティ取合いをドラフト背面側へコンパクトにまとめることで、作業場の安全性と作業性が向上します。 仕様◇ 外装:SS+焼付塗装 内装:SUS304#400相当品 …
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン
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ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。
薬液によって、SUS仕様、塩ビ仕様にも対応し、お客様の操作性と安全性を両立したドラフトチャンバーです。 ※詳しくはPDF(カタログ)をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン
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硬質塩化ビニル樹脂丸棒、工業用プレート(硬質塩化ビニル樹脂板)用補材は、工業用耐蝕材料として幅広く使用されております。
・フランジなどの部品用途や各種装置用途の補強材に幅広く使用されています。 ・優れた耐薬品性で、酸、アルカリ、塩類、油脂などに対して安定した性質を有しています。 ・切削加工、孔開け加工、寸法安定性に…
メーカー・取扱い企業: タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社
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排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気…
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン
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お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能です。
液晶ガラスやタッチパネルなどに用いられる枚葉基盤を処理する装置です。 【特長】 ■対応ワーク 100mm角~1000mm角まで対応可能。(他のサイズ、形状は別途相談) ■揺動機構(水平揺動・…
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン
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レジスト加工にて家紋を製作した事例をご紹介
家紋をレジスト加工にて製作した事例をご紹介いたします。 アルマイト銘板は量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】…
メーカー・取扱い企業: 株式会社重森産業社
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量産性に優れている!レジスト加工にて製作した事例をご紹介
レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介いたします。 量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】 ■レジスト加工 …
メーカー・取扱い企業: 株式会社重森産業社
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工業用として広く使用!レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介
レジスト加工にて製作した事例をご紹介いたします。 量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】 ■レジスト加工 …
メーカー・取扱い企業: 株式会社重森産業社
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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタマイズ致します。
ダルトンのリフトオフ装置は6種のラインナップと6種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型(量産向け)…バッチ、枚葉の併用仕様。よ…
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン
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Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズ
微量金属、微量コロイド除去用、エレクトロニクス・ファインケミカル業界用フィルター
Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズは、ろ材自体がゼータ電位による吸着能力を持っており、通常のフィルターではほとんど除去不可能と考えられる様々な微細粒子、コロイド等を取り除きま…
メーカー・取扱い企業: スリーエムジャパン株式会社 フィルター製品事業部
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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング(…
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン
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硬質塩化ビニル樹脂板 タキロン工業用連続プレスプレート イーワン
表面状態はプレス製品同様!押出透明板より優れた透明性!
イーワンはカレンダープレス製法と押出製法を組み合わせた連続プレス製法の長所を兼ね備えた工業用硬質塩ビプレートです。鉛フリータイプもご用意しております。
メーカー・取扱い企業: タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社
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循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停…
メーカー・取扱い企業: 株式会社ダルトン