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非空転式プリセット形トルクドライバーLTDシリーズ

設定トルクに達すると約15度の空転感覚で締付け完了をお知らせ。衝撃・振動を嫌うデリケートなトルク管理用の非空転式トルクドライバー

■東日の非空転式プリセット形トルクドライバーLTD15CN～500CNの6機種のトルク目盛にはロック機構を標準装備し、使用中に目盛の移動がありません。 ■ここが違う！！1)ロック機構の「ロッカー」の…

メーカー・取扱い企業：株式会社東日製作所

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

最大4インチ角基板対応手動露光機

ズースマイクロテックMJB4は最大4インチ角基板まで対応可能な手動式マスクアライナ(露光装置)です。シンプルな操作性、高精度アライメント、高い露光解像性が特徴です。研究開発用途以外に少量生産用…

メーカー・取扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

ウエハサイズ後工程投影露光装置 MRS

■ ８インチ以下は「一括露光方式」、　 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数…

メーカー・取扱い企業：株式会社サーマプレシジョン

超高出力　UV-LED照射器　ALE/1C

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。システムを2 つに分割したこと…

メーカー・取扱い企業：ケイエルブイ株式会社

マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/2

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを…

メーカー・取扱い企業：ケイエルブイ株式会社

マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/3

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更…

メーカー・取扱い企業：ケイエルブイ株式会社

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4

最大8インチ対応角基板まで対応可能セミオートアライメント対応露光装置

ズースマイクロテック MA/BA GEN4 は最大８インチ角基板まで対応可能なセミオートアライメント対応の露光機です。MEMS、光学部品の製造、化合物半導体などのR&D、少量生産用途に対して最…

メーカー・取扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

半導体製造装置制御装置仮想化システム「レガシー製品延命に寄与」

サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主。老朽化する高価半導体製造装置の制御装置延命処置。

レガシーデバイス、旧 DEC社製PDP,VAX, Alpha,DMCCのミニコン／ワークステーションを搭載している半導体製造装置の制御装置を仮想化するシステムです。既存のアプリケーション・OSを現…

メーカー・取扱い企業：株式会社渡辺商行

6-Dメカニカルステージ

6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ

ALIO社は2001年に設立以来、一貫して、Nanoにこだわって、ステージを製造してまいりました。クロスローラーガイド、エアベアリング、リニアモーター、PZTモーター等、アプリケーションに…

メーカー・取扱い企業：オーテックス株式会社

レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！

レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。【特徴】 ■高帯電防止性能　高帯電防止性能により…

メーカー・取扱い企業：株式会社渡辺商行

UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能！

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも…

メーカー・取扱い企業：ケイエルブイ株式会社

マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/1

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更…

メーカー・取扱い企業：ケイエルブイ株式会社

i線ステッパー露光装置

Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っております。

i線ステッパーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。弊社では適…

メーカー・取扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

レーザー描画装置『DWL 2000 GS』シリーズ

高速高解像度レーザー露光装置

『DWL 2000 GS』は、グレイスケールリソグラフィーに適した、柔軟性のある高速高解像度レーザー描画装置です。グレイスケールリソグラフィーは伝統的なバイナリリソグラフィーと異なり、マイクロレンズや…

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

レーザー直接描画装置『DWL 66＋』

研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置

『DWL 66＋』は、研究開発用途および小ロット生産やマスク作成やマスクレス露光に適した、高解像度のレーザー直接描画装置です。マイクロストラクチャの製作と分析に必要な機能を、標準システムとして…

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

高速レーザー描画装置『VPG⁺ シリーズ』

高速パターン・ジェネレータ

『VPG＋シリーズ』は、高速な露光速度により、大型マスク製造、レジストマスター作成、さらには様々な平面基板にも直接描画に対応できる高速露光システムです。半導体、ディスプレー、センサー、MEMS…

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

マスクレスアライナー『MLA150』

0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー

マスクレスアライナー MLA150は、マスク不要の非接触レーザー露光装置です。卓越した使いやすさ、および高速性により、ラピッドプロトタイピング、少量から中量生産、および研究開発環境における理想的なレー…

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー）

テーブルトップサイズのオートフォーカス付きマスクレスアライナー

テーブルトップシステムのマスクレスアライナー µMLAは、最先端のマスクレステクノロジーを特徴としており、微細構造を必要とする全ての研究開発領域に適したエントリーレベルの描画装置です。典型的な用途は、…

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理す…

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに…

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

高精度の薄板加工（最小幅2ｍｍ）承ります

独自のチャック方法により、高精度の薄板加工品を提供します【サイズや、加工による変形で精度でお困りのお客様お気軽にご相談ください】

加工サイズ：最大700×700ｍｍまで　最小幅2ｍｍ材料実績：アルミ、鉄、ＳＵＳ、インバー材など精度：実力値で1000分台の平行を出せますまずはお気軽にご相談ください加工設備 …

メーカー・取扱い企業：株式会社三栄精機工業

５相ステップモータドライバ　「５Ｄ０２」

高速トルク特性が良好な５相ステップモータドライバ

現場の技術者様から要望の多い、小型・カンタン配線の５相モータドライバです。フラットケーブル用コネクタを使用したボード型タイプなので配線がとても簡単で、５２ｘ８０ｘ１５．５ｍｍ　・　２８ｇと…

メーカー・取扱い企業：ピー・ピー・エス有限会社

マイクロデバイス製造関連装置

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオー…

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

MLA300は、研究開発アプリケーション、ラピッドプロトタイピング、および少量から中量生産の領域では既に標準となっているマスクレスアライナーの工業生産バージョンです。MLA300は、生産工場で期待され…

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

２相バイポーラマイクロステップドライバ　「ＰＭＢ２１２Ｃ」

１．２Ａ/相ＲＭＳ出力なので２．４Ａまでのユニポーラ型ステッピングモータを駆動できる小型ドライバ（サイズ９０ｘ６０ｘ２０　１１０ｇ）

メーカー・取扱い企業：ピー・ピー・エス有限会社

半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』シリーズ

高速半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』

『ULTRA』は、半導体用マスク作成に適した、高速高解像度レーザー描画装置です。『ULTRA』高生産性、高精度性、高均一性、超高精度位置合わせ精度を備えるコスト性の良いマスク描画装置です。

メーカー・取扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

スクリーン版用露光装置

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。…

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

ノイズフィルタ

単相/三相仕様、大電流対応しております。高周波ノイズ対策用（1GHzまで)として使われます。

双信電機のノイズフィルタは、半導体製造装置や工作機械などの産業機器ばかりではなく、空調機器、エレベータなど快適な暮らしを支える設備にも広く使用され、環境及び省エネ技術の進歩に貢献しています。Ｍ…

メーカー・取扱い企業：株式会社オリナス東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港

集積化ガスシステム対応ガスフィルター

高濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。

メーカー・取扱い企業：株式会社ピー・ジェイ

両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

５相ステップモータドライバ「５Ｄ１４Ｃ」

【特長】 ●５本線モータに対応 ●高速性が従来比の３０％ＵＰ ●高効率 ●高信頼性設計 ●励磁タイミング出力

メーカー・取扱い企業：ピー・ピー・エス有限会社

５相マイクロステップモータドライバ「５Ｄ１３Ｍ」

【特長】 ●取り付け方向が自由 ●シンプルな回路構成による高信頼性 ●５本リードモータに対応 ●脱着式端子台使用

メーカー・取扱い企業：ピー・ピー・エス有限会社

平行光露光装置

平行光露光装置のラインナップのご案内です。

均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

５相ＡＣ電源マイクロステップモータドライバ　「５Ｄ１ＡＭ」

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メーカー・取扱い企業：ピー・ピー・エス有限会社

自動搬送露光装置

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

２相マイクロステップモータドライバ「２Ｄ２４Ｍ」

【特長】 ●超小型・超軽量・低価格 ●１/１〜最高１/６０まで２２種類の高分割数 ●２Ａ／相ＲＭＳの高出力 ●超軽量

メーカー・取扱い企業：ピー・ピー・エス有限会社

FPC露光装置

フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための装置

ロールｔｏロールでピッチ送りしてドライフィルム上にパターンを焼き付ける製品群をラインアップさせています。

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

自動整合露光装置

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載

CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載した、自動整合露光装置です。

メーカー・取扱い企業：ウシオライティング株式会社

マイカコンデンサ

用途に合わせた幅広い提案が可能です。

【製品ラインナップ】チップマイカコンデンサ　　　　ディップマイカコンデンサ

メーカー・取扱い企業：株式会社オリナス東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港

自動機・専用機

お打合せによる産業用機械を製作しています。

メーカー・取扱い企業：大和鉄工株式会社

鋳物加工もお任せ下さい　材料手配から承ります

砂型鋳造、金型鋳造、金型鋳造、ダイカスト鋳造、石膏鋳造など、あらゆる鋳物品加工を対応いたします。最大900×900×1000ｍｍ

各種材質、工法の鋳造品につきまして、様々な実績があります（受注品の約40％が鋳造品です）各鋳造メーカー様との協業により、型の作成～材料手配～機械加工～表面処理まで一貫して承ります対応材質：…

メーカー・取扱い企業：株式会社三栄精機工業

CAD/CAM/SIMULを用い作業効率と高い品質を追求してます

【削る前が決め手】仕様確認、工法の提案、工程及び治具設計、工具の選定、プログラム作成、加工シュミレーションにも力を入れています

専門技術者が案件毎に対応させて頂き、加工に入る前に品質、コストを満足させる最適な工程、加工方法を十分に検討してから加工に入ります。高精度品（薄板～掘り出し加工まで）、鋳造品の加工技術ひ豊富な実績が…

メーカー・取扱い企業：株式会社三栄精機工業

中大物向け1200×1100×650ｍｍ5軸制御型立型MCを保有

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工

高精度の五軸ＭＣを導入することで、量産品だけでなく単品物まで幅広く対応することが可能となりました。工程集約を最大限に活かし、高精度品をタイトな納期で対応することに加え、複数面アプローチによる複雑形状の…

メーカー・取扱い企業：株式会社三栄精機工業

【半導体製造装置関連】PETRAナノインプリントステッパー

ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です

ナノインプリント本体[モールドテーブルαβ調整モールド機構高精度XYθウエハステージウエハ湾曲機構及びXYステージアライメント顕微鏡×2 恒温恒湿器イオナイザーマスフローコントロ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ライズワン

Roll to Roll Sputtering System

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

Roll to Roll Sputter SystemはFlexible Display用フィルムなど機能性フィルム製造用コーティング装備で薄いフィルムにコーティング膜の厚さを維持しながら高速コーティ…

メーカー・取扱い企業：株式会社ＳＵＫＷＯＮ

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