エッチング装置の製品一覧
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しませんか？生産コストの削減も可能です！
【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！
8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； B…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか？
【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減でき…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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汎用樹脂からポリイミド樹脂まで部品の受託加工は当社にお任せください！ 他材質とのアッセンブリー部品も当社で一貫対応致します。
☆材料物性データは資料ダウンロードもしくはコーポレートサイトにてご確認頂けます。 ナラサキ産業(株)は『樹脂部品の受託加工サービス』を展開しております。 切削加工の試作1個から量産の金型成…
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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MRAM用ドライエッチング装置！
反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見！ 海外生産による高精度、高品質のセラミック部品をご提案します！
当社の海外サプライヤーでの生産により、お客様の部品調達のご不安を解致します！ 高精度/高品質の半導体製造装置用のセラミック部品を材料込みでご提案致します。 ☆8インチ、12インチサイズ対応可能…
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！！
・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチング装置をご提案！！
イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』
教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システム
『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな 卓上タイプエッチング・成膜装置です。 設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の 導入をご検討されている方にお勧め。…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロディスプレイの故障解析
半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以上の納入実績
「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・ 成膜装置です。 研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。 また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱う…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロール
当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』を ご紹介いたします。 大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 高いスループットを実現。 特にMarat…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』
表面の単原子層のエッチング！エッチング対象物へのダメージを抑える事が出来ます！
当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置 『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。 …
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射材料です。
溶融-粉砕法で作製されたアルミナ溶射材料です。 耐摩耗、絶縁部品に使用されるホワイトアルミナ(AW)と、半導体、FPD製造装置などに使用される高純度アルミナ(AHP)を用意しております。 高純…
メーカー・取扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド
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耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末です。
造粒焼結粉法で作製された純度99.99%以上の高純度イットリア溶射材料です。 イットリア溶射材は主に半導体、FPD製造装置に使用されるため高い純度が要求されます。 これに応えるためフジミでは厳…
メーカー・取扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド
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総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実現
『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 難しいエッチングプロセスや薄膜形成アプリケーションにおいて、 プロセス結果を実現できるエッチング・成膜装置です。 …
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEとして使用可。ご要望に応じて特殊仕様対応が可能です
『210D』は、エッチング及び成膜を必要とする様々な製品の開発に お使いいただける、誘導結合プラズマによる成膜装置です。 十数分の時間でハードウエアを交換し、誘導結合プラズマエッチング装置 …
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成膜装置
当社の『Corial 200 Series』をご紹介いたします。 共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE, ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレー…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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幅広い金属に対応可能！フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹介！
『フォトエッチング』とは写真の原理を応用して、金属などの材質を 化学的に腐食させることで複雑・微細な形状を作り出す精密加工技術です。 極小・極薄・極細部品や特殊な形状の製品の製造に好適。その他…
メーカー・取扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社
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Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！
当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン70です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1…
メーカー・取扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社
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Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！
当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン69です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、膜構成がCu/Moで、膜厚は560/25、 T角は45(±10…
メーカー・取扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社
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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
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レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品
超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 …
メーカー・取扱い企業： ティックコーポレーション株式会社
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介
当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスを…
メーカー・取扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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フォトエッチング加工サービス【エッチング加工の基礎知識】を進呈！
試作から量産まで可能。バリのない平滑な外縁のノーブリッジエッチングなど。薄板・大判加工、モリブデン加工もOK！基礎知識資料も進呈
当社では、カットシート・ロール材などの金属板・金属箔に エッチング加工を施す『フォトエッチング加工サービス』を手がけています。 加工歪みやバリのないフラットな加工が可能なほか、片側のみにパター…
メーカー・取扱い企業： 日本フイルコン株式会社
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2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！
【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズル ミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。 ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります…
メーカー・取扱い企業： ティックコーポレーション株式会社
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最短半日見積り／細穴放電加工、ワイヤー放電加工などの精密微細加工はお任せください。
〈材質〉ステンレス／SUS303 〈加工〉細穴放電加工 〈サイズ〉φ５mm こちらの製品は、小径ステンレスに対して細穴放電加工を行ったワークです。 全部で8箇所にφ0.２mm、深さ5mmの穴あけ加工…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理
回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理な…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によるトラブルを未然に防ぐことが出来ます。
通常のフッ素樹脂コーティングは『絶縁性』となりますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防…
メーカー・取扱い企業： 関西ポリマー株式会社
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フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によるトラブルを未然に防ぐことが出来ます。
通常のフッ素樹脂コーティングは『絶縁性』となりますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防…
メーカー・取扱い企業： 関西ポリマー株式会社
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自動管理装置「アデカベアック装置」を用いて、エッチング液を常時分析
回路形成材料「アデカベアックシステム」は、自動管理装置「アデカベアック装置」を用い、エッチング液を常時分析し、ＯＲＰ（酸化還元電位）、イオン指数（遊離塩酸濃度）、比重の状態により、各種取り揃えた特殊エ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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【特殊形状】半導体関連部品／SKD11を使用した特殊形状加工品
最短半日見積り／特殊形状、複雑形状にも対応！半導体、電子機器、工作機械などの精密部品製作はお任せ下さい。
半導体メーカー様よりご依頼頂き、SKD11（工具鋼材）の加工品の製作を承りました。 個数は、1個のみです。 開発・試作部品の単品加工にお応えいたします。 複雑形状 + 超小ロット、特殊形状のご要望…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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回路形成材料 電子部品、ウェハーレベルパッケージ工程エッチング液
ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で
ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野でのウエットエッチング剤です。各種機能を有したエッチング剤、ソフトエッチング剤、ハーフエッチング剤なども取りそろえています。銅再配線工程や素…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去！
株式会社SETO ENGINEERINGでは、『デスミア装置』を取り扱っています。 当装置は、レーザードリルなどで、ブラインドビア及び、スルーホール などの穴あけ後にスミアを除去できます。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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Ti系、Cr系コーティング膜選択エッチング液 チタピールシリーズ
切削工具、治具、金型の再コーティングの前処理として浸漬処理を施すことで、残留コーティング膜の剥離が可能です
＜チタピールA/B＞ 切削工具、機械部品、金型、装飾品等の再コーティング前処理工程における、チタン(Ti)系残留コーティング膜の剥離剤です。母材である合金とは反応せず、Ti膜のみを選択します。また除…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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板厚はご相談ください！小ロットからも対応可能なエッチング加工
小ロットの時は厳しい要求のご相談に対応！エッチング加工
『エッチング加工』は、主に金属の表面や形状を、 化学的あるいは 電気化学的に溶解除去し、金属表面を任意の形状に加工するものです。 クロダ精機では、寸法公差は一般的に板厚±10～15％が標準です…
メーカー・取扱い企業： クロダ精機株式会社
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有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます
『TAB・COF製造装置』は、連続搬送方式で製品リール巻出に同期して、 ライン搬送に影響を与えず巻取ができます。 テンションコントローラーで製品巻出リールの回転速度を一定に制御。 巻出部テン…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力を精度よくコントロール
当装置はFPC等の薄い枚葉基板をロールtoロール搬送し連続にて エッチングを行います。 装置は、巻出（基板投入）～ラミネート～エッチング～水洗～ 酸洗～水洗～巻取（基板剥がし）～水洗～乾燥～…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ 眞空プラズマの高い効果を量産ラインに
先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・ア…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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エッチング工程に適した高耐食高耐久ローラー
高耐久性を重視し、消耗品のイメージから、機械部品の一部として安心して、ご使用いただけますよう開発いたしました。 製品の特長 ・耐摩耗性に優れている ・耐食性・耐熱性に優れている ・電食が生…
メーカー・取扱い企業： 富士化工株式会社
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