エッチング装置の製品一覧 （2ページ目）
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半導体・ＦＰＤ・光通信の各分野の発展に貢献、業界トップシェア
１９８１年に高純度液化塩素の製造を開始して以来、高純度ガスのパイオニアとして半導体、ＦＰＤ、光通信の各分野の発展に貢献してまいりました。お客様との対話を通して培われた製品精製技術、分析技術、容器洗浄整…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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フォトリソ工程装置内（ノズル、 搬送ローラー、 槽壁等）に固着したレジストスカムをスプレイ処理を施す事で簡単に除去が可能です
ドライフィルムレジスト(DFR)現像槽、剥離装置、ソルダーレジスト(SR)現像装置に付着したスカムをスプレイ処理により擦らず、簡単に除去可能なフォトリソ工程洗浄剤です。消泡剤不要であり、溶解許容量まで…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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型の費用がかかりません！変形ものの小ロット製作にも対応可能
株式会社重森産業社は、エッチング加工を承っております。 エッチング加工の変形ものの小ロット製作なら、 加工してからのほうがお安いかもしれません。 基材はステンレスのみで、型の費用がかかり…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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最短半日見積り／半導体製造関連／実装機械 等、装置の部分的な製作、装置組立のご依頼もお任せ下さい。
◎お客様 装置メーカー・FA用機器 様 ◎ご依頼内容 自動化装置の安全カバーフレーム部分の製造 半導体製造装置メーカー様用 ◎主な仕様 [数量] 装置カバーA 1台 ／装置カバーB 1台 [寸法…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）
連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！
『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイプエッチング装置。 半導体製造装置部品・材料にも対応
実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。 大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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「導電性フッ素樹脂コーティング」帯電防止・防爆仕様の環境に最適！
使用温度が高く、非粘着性や耐薬品性が必要な部材に『導電性フッ素樹脂コーティング』
通常のフッ素樹脂コーティングは『絶縁性』となりますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防…
メーカー・取扱い企業： 関西ポリマー株式会社
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エッチング装置
塩化第二鉄及び、塩化第二銅を使用し 現像後の銅箔をエッチングする装置 【特徴】 ○Lane構成：2Lane ○搬送速度：2.0m/min ○材料幅：TAB/CSP/COF用 35mm〜1…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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施工性、低コストを備えた工業用薬液配管カバーです。
液漏れ確認用カバー/溶接フランジ用/TSフランジ用(受注品) 各種生産工場において、環境に対する対策が重要な課題となっています。液漏れ確認用フランジカバーは、各種生産工程で使用されている化学薬品の配…
メーカー・取扱い企業： タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社
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新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.
新開発プラズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけで…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室へ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場
チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 …
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型
『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現した セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が…
メーカー・取扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置
「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に…
メーカー・取扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社
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銅の表面処理を施し、様々な機能を付与することで各種レジスト材料との密着性が向上します
＜アデカテックCA-1＞ 過酸化水素が主成分である銅箔化研処理剤です。硫酸との混合比を変えることで削り量と粗さを変えることができるため、複数の工程用途に対し柔軟に対応することができます。また、低化研…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置
実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。 従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセス…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング
従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置
薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディス…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ
セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。
メーカー・取扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ
セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優…
メーカー・取扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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多品種、小ロット対応！貫通加工だけでなく、任意の深さのザグリ加工もできます
当社では、バリの少ない精密なエッチング加工が可能です。 貫通加工だけでなく、任意の深さのザグリ加工もできます。 高価な金型代が不要で、試作から中量産まで対応が可能。 多品種、小ロット10…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテスト対応によるプロセスサポートが特徴のプラズマエッチング装置
バッチタイプでサブミクロンのＳｉ酸化膜のエッチングに対応。 ＳｉＮ、Ｓｉ系薄膜だけでなく高融点金属や難エッチング材にも対応 石英の垂直性エッチング、厚膜レジストの微細加工等ニッチデバイスの加工に最…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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フラット性や磁性や耐熱性の要求に対応！多品種の小ロット対応の案件をエッチングの技術を用いて実現
蒸着マスクの業種作成についてご相談をいただきましたので、ご紹介いたします。 研究機関や試作検討に初めてトライするため、金属マスクの特性等に関しても 試行錯誤をしている案件があるとのことでした。…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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【加工事例】エッチング加工で世界に一つだけのフォトフレームを作成
エッチング加工で作成した世界で一つしかない思い出に残るフォトフレームが完成しました！
「東成区住工共存まちづくり懇談会」「東成区役所」「尼崎信用金庫/今里支店」の 皆様と、東成区在住の小学生と保護者の方などが「第12回わが町工場見てみ隊」として、 当社へ工場見学に来られました。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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低コストにて対応するために、エッチングで必要不可欠な原版も友取り・共用等にするなど工夫しています！
板バネの加工についてご相談をいただきましたので、ご紹介いたします。 お客様のご要望は、「低コスト対応が可能な加工法、エッチングでお願いしたい」 とのことでした。 お客様の抱えていらっしゃ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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試作品も大歓迎！原版作成からエッチング加工まで、当社にお任せください
当社は、短納期対応を得意としており、フォトエッチングにおいて 最短即日納品が可能です。 多品種・小ロットを得意として、試作品等についても1つからの製作でも 対応。プレス加工等で使用する高価な…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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パターンフィルム作成から検査・出荷まで！問題のないものをお客様のもとへお届けいたします
当社で行っている、エッチングの工程についてご紹介いたします。 最初に、お客様からいただいた図面やデータをもとにCADにて パターンフィルムを作成。油分や被膜などの除去、レジストラミネートなどを…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ケミカルプリント
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排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
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中赤外波長可変レーザーOPPO MIRは 2.8～4.2umの波長範囲で調整が可能なピコ秒パルスレーザーです。最大出力1W以上。
〇優れた出力安定性 〇波長可変 〇モードホップフリー掃引 〇回折限界ビーム ■光パラメトリック発振に基づくスーパーコンティニュームレーザーで中赤外広域スペクトルの波長可変レーザーを生成しま…
メーカー・取扱い企業： 株式会社日本レーザー
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主に屋外向に広く使用！塩害の酷い場所での使用にはSUS316Lをお勧めしております
当社で取り扱う「エッチング(腐食)銘板」をご紹介いたします。 耐候性に優れ、金属看板や機器表示銘板、刷り込みマークなど 主に屋外向に広く使用されております。 また、塩害の酷い場所での使用…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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表面クリアー加工や保護シート、両面テープ加工など様々な加工により仕上げます
当社で行っている「エッチング(腐食)銘板」の工程をご紹介いたします。 データの入稿もしくは当社にて製作し、裏膜面にてフィルム出力などの 工程を行います。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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金属面やコンクリート壁にも設置可能！社名板をエッチング加工した事例をご紹介
「社名板」をエッチング加工した事例をご紹介いたします。 裏面にボルトを取り付けることで金属面やコンクリート壁にも設置可能。 エッチング加工の優れた耐候性と高級感は、企業の顔としてふさわしい…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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金属独特の光沢！表彰状をエッチング製に加工した事例をご紹介
「表彰状」をエッチング製に加工した事例をご紹介いたします。 屋内向けにはアルマイトにての製作も可能。 紙の印刷物とは異なりエッチング製の表彰状は、飾る場所も年月も選びません。 金属独特の…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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シカル加工にも対応！制御パネルをステンレスにエッチング加工した事例をご紹介
工業用機器に使用される制御パネルをステンレスにエッチング加工した事例を ご紹介いたします。 加工を施した後、プレスブレーキにて曲げ加工します。 またシカル加工にも対応します。 ご用命の…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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名称表示に使用！刷り込みマークを加工した事例をご紹介
被写体にスプレーを吹き付けて文字を転写する「刷り込みマーク」を 加工した事例をご紹介いたします。 運搬用パレット、ケーブルドラムなどの名称表示に使用されます。 ご用命の際は、お気軽にお問…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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耐候性に優れている！目盛り板を加工した事例をご紹介
機器に取り付ける目盛り板を加工した事例をご紹介いたします。 耐候性に優れ、金属看板や機器表示銘板、刷り込みマークなど 主に屋外向に広く使用されております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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データ入稿にてお受け致します！プリント基板を製作した事例をご紹介
フェノール樹脂板にエッチングを施し、プリント基板を製作した事例を ご紹介いたします。 エッチングから孔加工などの仕上げまでデータ入稿にてお受け致します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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ステンレスの使用頻度が高い！エッチング銘板を加工した事例をご紹介
屋内外に関わらずステンレスの使用頻度が高いエッチング銘板を 加工した事例をご紹介いたします。 主に機械などの製造者、型式、製造年月日、用途などの 情報を掲示するための銘板。 ご用命の際…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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エッチング加工やプレス加工など様々な方法で金属アクセサリーを加工した事例をご紹介
バックルなど金属のアクセサリーを加工した事例をご紹介いたします。 エッチング加工やプレス加工など様々な方法にて製作。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】 ■…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタマイズ致します。
ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。よ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
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＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。
【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノー…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
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スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴き実績も豊富
現像、エッチング、リンス、乾燥と一連のパターニング処理を 従来型のSpinにて行う装置のご紹介です。 基板品種により現像､エッチングの処理時スプレー又はパドルの レシピ選択ができ、スキャン時…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
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半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい
各種電子デバイス製造装置の保守・メンテナンスを行っております。 24h体制の常駐対応からスポットの定期点検まで、ニーズに合わせて対応致します。
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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