アッシング装置の製品一覧
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世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマンスでその地位を確立しております。
マイクロ波(2.45GHz)により高密度のプラズマを生成することで、非常に効果的な表面処理が可能となります。また、お客様の様々なパッケージング工程に対応したプロセス形態をご選択いただくことができます。…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界中のMEMSや半導体等のファブで使用されております。
2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ 眞空プラズマの高い効果を量産ラインに
先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・ア…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術
多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜のエッチングに対応。大面積化も容易な新型エッチング装置.
新開発プラズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけで…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場
チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 …
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラジカル処理を実現。高性能プラズマアッシング装置
表面波プラズマ（surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置
実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。 従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセス…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓｉ系、メタル、有機膜、各種薄膜のダメージレスエッチング
従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置
薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディス…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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基板、樹脂、粉体、医療、半導体…。あらゆる分野で使えるプラズマ技術の応用例が満載！
当社の「プラズマ表面処理技術」をまとめた技術資料を無償配布中です。 プリント基板、フィルム、樹脂、粉体、医療、半導体後工程といった 分野を問わず活用できるプラズマ装置。 剥離、有機物除去…
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】
♦材質 A5056 (アルミ) ♦業界 半導体製造装置 液晶製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 旋盤加工 ♦表面処理 － (日本国内) ♦個数 1個 ♦…
メーカー・取扱い企業： フィリール株式会社 本社
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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」など…
メーカー・取扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！
『アッシング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動連続処理することが できる量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング 及びイオンクリーニングを可能とす…
メーカー・取扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）
ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社リバティー
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【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！
UV装置は、紫外線(UV)を用い、基板表面の有機物を除去する為の装置です。 【特長】 ■自社製低圧水銀ランプにより発生する185nm、254nm波長の紫外線効果により 基板表面の有機性汚れ…
メーカー・取扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社
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小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社 PDC-001 / プラズマクリーナー
ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用され…
メーカー・取扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部
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プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。 ウエハサイズ50〜20…
メーカー・取扱い企業： 株式会社リバティー
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プラズマドライクリーナー プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置
ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー
・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付…
メーカー・取扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
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枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）
枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）
本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルによ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社リバティー
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「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。 いつでも！ どこでも！ 簡単に表面改質や活性化に使用できます。
使いやすい！ 持ちやすい！ 大学や研究所と研究者のために
メーカー・取扱い企業： 大日商事株式会社
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ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)
ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)
● ワンタッチ操作のみで特別な操作が不要です。 ● 設置スペースが小さく場所を選びません。 ● 試料はφ4インチまで対応可能。 ● 専用機であるため低価格。
メーカー・取扱い企業： サムコ株式会社
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小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）
本装置は、平行平板型高周波プラズマを使用した簡易型枚葉式プラズマクリーナーです。 600mm（W）×600mm（D）×750mm（H）（ポンプ除く）の小型プロセス装置です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社リバティー
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洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)
洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)
● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト
メーカー・取扱い企業： サムコ株式会社
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50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウエハと8インチウエハに対応。ウエハ枚葉処理式もございます。
高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格…
メーカー・取扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
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小型卓上タイププラズマ装置 PiPi（ピピ）
・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用
メーカー・取扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
「UPS」と「TSP」は競合する製品ではなく基本的には“何を保護するのか” “必要な保護時間”により使い分けされます。 大容量の保護の場合は圧倒的にTSPの方が費用対効果が大きいため、 近年…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シナジー
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切削加工/金属加工
お客様の仕事を円滑にするお手伝いを致します。 【金属加工はフィリール株式会社にお任せください】 フィリール株式会社では、精密切削加工を行っており、ベトナム工場での製作及び調達を行っています。 …
メーカー・取扱い企業： フィリール株式会社 本社
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SUS304削り／SUS304切削
お客様の仕事を円滑にするお手伝いを致します。 【金属加工はフィリール株式会社にお任せください】 フィリール株式会社では、精密切削加工を行っており、ベトナム工場での製作及び調達を行っています。 …
メーカー・取扱い企業： フィリール株式会社 本社
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業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置
小型・低コスト・業界最小サイズ、卓上型プラズマ処理装置です。ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学…
メーカー・取扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
可変速モーター、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、 マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて 動作に支障をきたす可能性があります。 シリコンメーカ様では研磨、エッ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シナジー
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
瞬時電圧低下とは、送電線への落雷または送電事故により瞬時に （0.07～2秒間）電圧が低下する状態を言います。 落雷によるものは自然現象であり、無くなることはありません。 『TSP』は、瞬時…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シナジー
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
「UPS」とは商用電力をバッテリーに充電し、そのエネルギーをインバーターで 交流に変換して負荷側に供給する設備で、瞬時電圧低下発生時は商用電源が 消失してもバッテリーに充電されたエネルギーで通常1…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シナジー
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
北陸地方のある工場での1年間の瞬時電圧低下発生状態は全て 電圧低下率20％以上で合計20回発生しており、瞬時電圧低下継続時間は 41.6m秒～115.23m秒です。 1需要家あたりに発生する…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シナジー
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瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TSP』
通常は商用電力をSCRを介し負荷側へ供給する時に電気二重層キャパシター （EDLC）に充電しましが、瞬時電圧低下発生時は検出回路により2msec以内に 切替を行い、電気二重層キャパシター（EDLC…
メーカー・取扱い企業： 株式会社シナジー
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