プラズマ表面処理装置の製品一覧
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！
8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； B…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解…
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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圧搾空気を用いたアーク放電式の大気圧プラズマ装置 ‐低ランニングコスト ‐スポット処理で高い表面改質効果を発揮
ドイツDiener(ディエナー) Electronic社は1993年に設立され、研究開発・少量処理用の小型モデルを始め、大型処理機まで幅広くプラズマクリーナーを取り扱っております。 Diener…
メーカー・取扱い企業： テクノアルファ株式会社
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2 次元表面の高速、高効率、広範なインラインプラズマ処理に最適なソリューションを提供します。
ドイツDiener(ディエナー)社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品…
メーカー・取扱い企業： テクノアルファ株式会社
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幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプなど各種プラズマ装置を販売
当社では、半導体分野をはじめとする現場で数多くの導入実績を持つ Diener Electronic社製の『低圧・大気圧プラズマ装置』を販売しています。 取り扱いが簡単で低価格な実験用の小型製品…
メーカー・取扱い企業： テクノアルファ株式会社
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希望の粒度に調整した溶射粉末の作製も！スピッティング等のトラブルを回避しながら高い付着効率を発揮 ※溶射粉末の解説資料プレゼント
溶射粉末『SURPREX』は、原料となる複数の微粉末を真珠状に近い形状へ造粒し、焼結した後に粒度を調整する製法で作られています。 そのため、一般的な［焼結－粉砕法］・［溶融－粉砕法］により製造された…
メーカー・取扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド
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a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズマによる表面除染
当社で取り扱う『Corial D250L/Kayen HDRF』により、 プラズマ技術のバイオ・医療への応用が可能です。 人体埋め込み型センサーや医療機器のパッシベーション膜を形成。 複…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【低コストでプラズマの導入】試験・研究や少量生産に最適な大気圧プラズマ装置です。
ドイツDiener(ディエナー)社の大気圧プラズマ装置は、プラズマノズルの電極部に高電圧フィールドを形成し、そこを通過するガスをプラズマ化します。 そのプラズマをエアーの気流で大気中に照射し、対象製品…
メーカー・取扱い企業： テクノアルファ株式会社
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大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。現地での排気ガス成分分析による処理剤設計もします。
乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項 対応可）
緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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緻密で溶射効率のよい皮膜が得られる！新設計のノズル電極により長寿命化を実現
プラクスエアー/タファー社の『SG-100』は、ノズル内部に材料を供給するため、 緻密で溶射効率のよい皮膜を得ることができるプラズマガンです。 金属から高融点セラミックスまで、各種材料のプラズ…
メーカー・取扱い企業： ユテクジャパン株式会社
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シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲載
当社取り扱いの『卓上型／スタンドアローン 大気圧プラズマ装置』を ご紹介します。 前後スライドステージによるシンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置 「MyPLシリーズ」をはじめ、スタンドアロー…
メーカー・取扱い企業： 株式会社イトー
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大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（2021年）
株式会社イー・スクエアは、1999年08月 IC製造等で排出されるPFC（パーフロロカーボン）を除去するプラズマ除去の応用で地球環境への社会貢献を目的として設立されました。 2001年10月、大気圧プ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置
大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！装置見学、サンプルテスト対応中
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理な…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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オレフィン系の樹脂やエラストマーなどの接着や印刷、コーティングなどの密着性の問題を解決！
『プラズマダイン』は、自動車窓のシール材のようなエラストマー製品の 接着に関する問題を解決するオゾンレスコロナ表面処理装置です。 導電性・非導電性を問わず、より強力で均一な表面処理を実現する …
メーカー・取扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社
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優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備しています！
『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを 採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる 高密度プラズマCVD装置です。 スパッタカソードを標準装…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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PILLAR社 大気圧プラズマ表面処理装置『Protean1』
プラスチックフィルムの濡れ性・接着性改善など多用途で活躍。コロナ処理より高い表面エネルギーが得られ、経時劣化なく長期間性能を保持
『Protean1』は、食品包装フィルム、光学フィルム、不織布、 金属コイルなど多用途で活躍する大気圧プラズマ表面処理装置です。 窒素ベースの混合ガスにより、基材の表面に反応性の高い官能基を形…
メーカー・取扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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樹脂フイルムへのバリア性プラズマ成膜などに好適！技術資料無料進呈いたします！
『ロールtoロール連続成膜装置』は、中間層を必要としないプラズマイオン 注入成膜法により、各種フィルム素材に機能性成膜が可能な装置です。 独自のICPプラズマによる高速成膜機能フイルムの製造が…
メーカー・取扱い企業： 株式会社イトー
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ロボットで自由に稼働！中空ボトルや凹凸のある成型品等の表面改質が可能
『PS-601SW/PS-1200AW』は、基材表面の親水性を高め、接着性・ コーティング性・印刷性を向上させるプラズマ照射表面改質装置です。 接着、塗装、インクジェットプリンターなどで使用可…
メーカー・取扱い企業： エム・エルエンジニアリング株式会社
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導電性・非導電性を問わず、強力で均一な表面改質／表面洗浄を実現します
『PlasmaDyne Pro』は、プラスチック・ゴム・エラストマー・繊維・ 金属・ガラス・セラミックなど様々な素材の印刷／接着／濡れ性の問題を 解決する大気圧プラズマビーム式表面処理装置です。 …
メーカー・取扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社
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ウェブ搬送ロールのしわ・傷・粘着物による不具合防止コーティング
アメリカ生まれの高耐久コーティング！業界スタンダードとして採用実績多数！
『プラズマコーティング』は、米国プラズマコーティング社が開発した 離型性コーティング技術です。 当技術は、離型剤の種類だけでも20種以上ありますが、その離型剤と 組み合わせる硬質層との調整に…
メーカー・取扱い企業： カンメタエンジニアリング株式会社
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CXコーティング 防水 防湿 生体適合性 無償コートも受付中
防水・防湿、絶縁、生体適合性などの性能を持ち合わせているCXコーティング。薄膜透明の膜を常温処理で成膜。医療や電子部品を守ろう。
CXコーティングは多機能高性能コーティングとして医療や電子部品の市場の製品を様々な要因から守ることが可能です。 ◆防水・防湿 弊社のラインアップのPPX単層膜とCXコート＋SiO2の積層膜はど…
メーカー・取扱い企業： オーエスジー株式会社グループ
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ハンディタイプ大気圧プラズマ処理装置『ピエゾブラッシュPZ3』
驚くほど小型！低温大気圧プラズマ装置！広範な用途に使用可能です。
『ピエゾブラッシュPZ3』は、研究や開発、少量生産用に開発された小型で ハンディタイプの大気圧プラズマ処理装置です。 圧電素子による直接放電(PDD)技術を使って、最大消費電力18Wで50℃以…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アルス
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20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア
標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ 多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成の実績豊富な各タイプ 眞空プラズマの高い効果を量産ラインに
先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・ア…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。
・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可…
メーカー・取扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。
ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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印刷・接着・コーディングに大活躍！様々な分野のものづくり、研究に
『コロナ処理・プラズマ処理』は、表面改質処理の技法です。 コロナ放電照射・プラズマ放電照射によって物質の表面に 目に見えない小さな傷を付け、改質させる処理。 液体を弾いてしまう材質や、静…
メーカー・取扱い企業： ナビタスマシナリー株式会社
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排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。
● 反応副生成ガスにも対応 カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される NH3（アンモニア）の他 副生成される可能性が ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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量産現場の実績多数 WET処理装置(洗浄・現像・エッチング剥離)
液晶及び有機EL市場において高いシェアを誇る枚葉平流し式ウェット処理装置
●量産工場への納入実績多数 ●用途に合わせて、スプレー処理、ディップ処理、パドル処理など、 好適なエッチング装置構成をご提案 ●独自開発したスプレーノズルによる均一性の向上 ●様々な薬液に対…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現
硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに！メタルフリータイプ
メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を！シリコン半導体の工程など、クリーンなプロセスにおすすめ！
当製品は、販売中のウエハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用して…
メーカー・取扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部
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サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置
微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗浄や改質ができ、良環境性と低ランニングコストを実現
バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の…
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）
独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応
従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現 成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリ…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案
大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！
株式会社イー・スクエアは2001年に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点 国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。 今回「ワ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合物半導体量産プロセスを実現 サンプルテスト＆装置見学対応中
当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロード…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置
WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。 コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モード…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エスクラフト
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低誘電率樹脂を粗面化せずに直接めっき、接着剤を使わず直接接合！※技術資料 進呈
【５Ｇシステムの実現に向けた低誘電率樹脂の直接接合技術】 従来できなかったフッ素樹脂、LCP等低誘電率樹脂へのダイレクトめっき、ダイレクト接合をプラズマ表面改質で実現！ 当社はプラズマ表面改質…
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ
処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実現。
「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットス…
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイプエッチング装置。 半導体製造装置部品・材料にも対応
実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。 大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性向上。など）を化学的結合により付与することが出来ます。
「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効果で親水性・濡れ性向上。ドライ・常温処理の新表面洗浄技術
多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後…
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ接合・接着の基本的概念」
大気圧プラズマ装置を用いたミリ波に対応するFCCL製造関連に適した伝送ロスを排除した接着技術であり、分子結合を利用した接着剤レス接着であるため信頼性が高く、ワーク表面のフラットな状態をキープしながら、…
メーカー・取扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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５G向けフッ素樹脂への直接めっきや接着剤レス接合をプラズマで実現
フッ素樹脂をはじめとする難接着材料への直接めっきや異種材料の接着剤レス直接接合、各種粉体の表面改質が可能！※SURTECHに出展
当社の表面改質技術は、特殊な減圧プラズマ状態で基材表面に官能基を強固に付与しすることで様々な機能を持たせることができます。 特に接着・密着性向上の面では、5G向け回路基板製作に必要な「フッ素樹脂への…
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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