高純度石英インラインヒーターヒロテック

高純度石英を使用。高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーター

半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。
20年以上の経験に基づいて設計製作されたアキュヒートは高性能、低オーナーシップコストを実現しており、石英で使用できる薬品でのプロセスに使用できます。

【特長】
◆インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター
◆外装はテフロン(PTFE)を使用
◆高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要
◆耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2)
◆コンパクトサイズ。縦置き／横置き共に設置可能
◆３KW、６KWタイプ有り
◆24ヶ月保証
◆メンテナンス不要：ランプ交換、反射鏡のクリーニング、冷却装置が不要。
◆最適な加熱：高速昇温でありながらオーバーシュートがない温度制御
◆多種のコントローラーが使用できますので、詳しくはお問い合わせください。

関連リンク - http://www.hiro-tec.com/

基本情報高純度石英インラインヒーター

価格情報	-
納期	~ 1ヶ月
型番・ブランド名	アキュヒート
用途／実績例	●硫酸・硝酸・その他の酸 ●リン酸 ●RCA、SC-1、SC-2洗浄 ●純水加熱 ●酸、フォトレジスト剥離