超精密位置決め機器『NS1000シリーズ』 THKプレシジョン

高速応答性と超高分解能。微小領域の高精度位置決めを実現します。※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中

圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。

【特長】
■ストローク30μm以下のステージで構成
■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテーブルに伝える構造
■高分解能や高速応答
⇒微小領域の超高精度位置決めに適しています。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報超精密位置決め機器『NS1000シリーズ』

※詳細なテクニカルデータ付きカタログ進呈中
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用途／実績例	ＨＤＤテスト光ピックアップ検査、評価半導体、液晶関連装置共焦点顕微鏡干渉計機器ナノメータポジショニング

カタログ超精密位置決め機器『NS1000シリーズ』

超精密位置決め機器　ナノコントロールNS1000　カタログ

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取扱企業超精密位置決め機器『NS1000シリーズ』

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。