縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置
測定基準となる超精密Ｘ軸およびθ軸
ウェーハ厚さ偏差情報に加え、ウェーハ両面の形状が解析可能となりました。
基本情報超精密ウェーハ平坦度検査装置
ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。
エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。
また、評価項目はＳＥＭＩの規格に準じています。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | ナノメトロTTシリーズ |
| 用途／実績例 | 形式 : ナノメトロ300ＴＴ ナノメトロ200ＴＴ 測定範囲 : φ300mm φ200mm 表示分解能 : 1nm 測定ヘッド : 非接触レーザ変位計 測定方式 : 縦型回転方式 |
取扱企業超精密ウェーハ平坦度検査装置
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