株式会社アルバック／ULVAC, Inc. G-TRANシリーズコールドカソードゲージ
- 最終更新日：2016-01-27 17:53:10.0
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G-TRANシリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。
フィラメントを使用しないため、センサの消耗、破損の心配がありません。
また、メンテナンスが容易な構造となっていますので、ランニングコストの低減が可能です。
【特徴】
○トランスデューサ仕様
→圧力表示器が不要な場合、表示構成上の真空計にかかるコストの
低減化、制御盤まわりの省スペース化、省配線化などを実現
○メンテナンス性
→測定子をお客様にて簡単にメンテナンス可能な構造
○フィラメントレス
→フィラメントを使用していないので再生が可能
○制御出力信号
→セットポイント2点の出力可能
○測定値出力信号
→圧力は0 ～ 10V出力（非線形出力）
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報G-TRANシリーズコールドカソードゲージ
【仕様】
○タイプ：センサユニット
○型式：SC1
○適応測定子：C-21、23、24、25
○測定圧力範囲：1.0×10^-5～1.0Pa
○測定精度：+100%, －50%（1.0×^-4×1.0×10^-1）
○使用温度範囲：10～40℃
○測定値出力：非線形出力⇒DC0V～10V（HV-OFFの時、10V）
○SETPOINT1/2調整用出力：非線形出力⇒DC0～10V
○制御入力信号：HV ON/OFF
○出力信号：オープンコレクタ、負論理
○制御出力信号：放電確認／セットポイント1/2
○LED表示：パワー、HV、圧力保護、セットポイント1/2
○電源：DC24V±2V、150mA
○入出力コネクタ：D-sub-15ピン（M2.6ネジ）
○本体質量：430g（測定子含まず）
○付属品：入出力コネクタ1式、取扱説明書1部
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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|---|---|
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| 型番・ブランド名 | SC1 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○半導体・電子部品をはじめとする各種真空装置のプロセス制御用に ○炉をはじめとする各種産業機器のプロセス制御用に ○インライン式・枚葉式のように 多くのプロセス室をもつ各種製造装置のプロセス制御用に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログG-TRANシリーズコールドカソードゲージ
取扱企業G-TRANシリーズコールドカソードゲージ
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ディスプレイ・太陽電池・半導体・電子・電気・金属・機械・自動車・化学・食品・医薬品業界および大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネント、材料の開発・製造・販売・カスタマーズサポ−トおよび諸機械の輸出入。また、真空技術全般に関する研究指導・技術顧問。
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