ズース・マイクロテック株式会社 露光装置 MJB4
- 最終更新日:2011-02-25 11:47:58.0
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研究用途に最適
自社開発の回折光減小光学系、WECシステム採用
基本情報露光装置 MJB4
【特徴】
■アライメント精度±0.5um
■小片~100mmウエハ対応
■グラフィカルユーザインターフェース
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
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