ズース・マイクロテック株式会社 塗布・現像装置 ACS300 Gen2

最大300mmまでタイプ スピンコーティング/現像クラスタ

量産用ウエハレベルパッケージング及び3次元集積向け

基本情報塗布・現像装置 ACS300 Gen2

【特徴】
■量産用ウエハレベルパッケージング及び3次元集積向け
■ポリイミドやCyclotene等の感光性樹脂や薄/厚レジスト
■塗布用のアプリケーションに対し、塗布・ベーク・現像において優れた
  パフォーマンスを発揮

□その他詳細についてはカタログをご覧ください

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カタログ塗布・現像装置 ACS300 Gen2

取扱企業塗布・現像装置 ACS300 Gen2

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ズース・マイクロテック株式会社

半導体製造装置・技術のご提案および,関連するプロセス/ソリューション開発。 取り扱い装置: ・ 紫外線露光装置(マスクアライナ) ・ レジスト塗布・現像装置(スピン&スプレーコータ) ・ ウエハ接合装置(ウエハボンダ) ・ フォトマスク洗浄装置 関連技術分野: ・ MEMS ・ LED ・ 先端パッケージング ・ 三次元積層 ・ パワー半導体 ・ ナノテクノロジー ■装置の営業・販売,および設置・メンテナンスにつきましては,国内総代理店 兼松PWS株式会社(045-544-1811)にて行っております。

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