ズース・マイクロテック株式会社 塗布・現像装置 ACS300 Gen2
- 最終更新日:2011-02-25 11:36:42.0
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最大300mmまでタイプ スピンコーティング/現像クラスタ
量産用ウエハレベルパッケージング及び3次元集積向け
基本情報塗布・現像装置 ACS300 Gen2
【特徴】
■量産用ウエハレベルパッケージング及び3次元集積向け
■ポリイミドやCyclotene等の感光性樹脂や薄/厚レジスト
■塗布用のアプリケーションに対し、塗布・ベーク・現像において優れた
パフォーマンスを発揮
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
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カタログ塗布・現像装置 ACS300 Gen2
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