MPSの酸化物，窒化物成膜関連製品を紹介します．
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基本情報酸化物，窒化物成膜関連製品
【特徴】
○抵抗加熱式蒸着装置…小規模の光学膜生産用として使用．光学膜を作るための抵抗加熱式蒸着装置
○熱+プラズマCVD装置…窒化物を作るための実験装置．熱とプラズマの併用も可能
○EBPVD装置…100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用
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取扱企業酸化物，窒化物成膜関連製品
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