株式会社カナメックス 枚葉自動スピン現像装置
- 最終更新日：2010-12-14 13:30:28.0
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装置寸法：2000W×1200D×2000H (200WCBT)/2000W×1500D×2000H (300WCBT)
セットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、パドル現像、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン現像装置です。本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能です。
基本情報枚葉自動スピン現像装置
【特徴】
■装置寸法
2000W×1200D×2000H (200WCBT)
2000W×1500D×2000H (300WCBT)
■ワークサイズ
ウェハー φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″)
マスク □4″～□6″（ 同 MAX□9″)
■オプション
薬液供給ユニット
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
| 価格情報 |
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| 納期 |
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| 型番・ブランド名 | WSD-200CBT/WSD-300CBT |
| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせください |
カタログ枚葉自動スピン現像装置
取扱企業枚葉自動スピン現像装置
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半導体前工程／先端実装／ＦＰＤ分野におけるフォトリソグラフィ関連等のウエットプロセス装置の設計製作及び販売
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