枚葉自動マルチスピンプロセッサー
枚葉自動マルチスピンプロセッサー http://www.ipros.jp/public/product/image/c24/2000009018/IPROS1416551106608459900.jpg スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能 【特徴】 ■装置寸法   2700W×1500D×2000H (200WCBT)   3000W×1500D×2000H (300WCBT) ■ワークサイズ   ウェハー φ4″~φ8″(300WCBTはMAXφ12″)  マスク   □4″~□6″(   同   MAX□9″) ■オプション   ワーク反転機構     FOUPロードポート対応  レチクルケース対応   SMIF POD対応  オリフラ/ノッチ合わせ機構   イオナイザー  オゾン水供給ユニット   高圧ポンプユニット  薬液供給ユニット   機能水供給ユニット  エキシマUVユニット   帯電防止器 □その他詳細についてはカタログをご覧ください 株式会社カナメックス 厚木工場 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 WSR-A200CBT WSR-A300CBT ******
  • リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
    株式会社カナメックス
    カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。
    チャンバーAでケミカル処理、チャンバーBでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。

基本情報枚葉自動マルチスピンプロセッサー

スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
【特徴】
■装置寸法
  2700W×1500D×2000H (200WCBT)
  3000W×1500D×2000H (300WCBT)
■ワークサイズ
  ウェハー φ4″~φ8″(300WCBTはMAXφ12″)
 マスク   □4″~□6″(   同   MAX□9″)
■オプション
  ワーク反転機構  
  FOUPロードポート対応
 レチクルケース対応
  SMIF POD対応
 オリフラ/ノッチ合わせ機構
  イオナイザー
 オゾン水供給ユニット
  高圧ポンプユニット
 薬液供給ユニット
  機能水供給ユニット
 エキシマUVユニット
  帯電防止器

□その他詳細についてはカタログをご覧ください

価格

******
※お気軽にお問い合わせください

価格帯

納期


※お気軽にお問い合わせください

発売日

取扱い中
※お気軽にお問い合わせください

型番・ブランド名

WSR-A200CBT WSR-A300CBT

用途/実績例

詳細はお問い合わせください

よく使用される業種

電子部品・半導体、教育・研究機関

カタログ枚葉自動マルチスピンプロセッサー

  • 特徴】
    ■装置寸法
      2700W×1500D×2000H (200WCBT)
      3000W×1500D×2000H (300WCBT)
    ■ワークサイズ
      ウェハー φ4″~φ8″(300WCBTはMAXφ12″)
     マスク   □4″~□6″(   同   MAX□9″)
    ■オプション
      ワーク反転機構  
      FOUPロードポート対応
     レチクルケース対応
      SMIF POD対応
     オリフラ/ノッチ合わせ機構
      イオナイザー
     オゾン水供給ユニット
      高圧ポンプユニット
     薬液供給ユニット
      機能水供給ユニット
     エキシマUVユニット
      帯電防止器

    □その他詳細についてはカタログをご覧ください

取扱会社枚葉自動マルチスピンプロセッサー

半導体前工程/先端実装/FPD分野におけるフォトリソグラフィ関連等のウエットプロセス装置の設計製作及び販売

枚葉自動マルチスピンプロセッサー へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度[必須]

ご要望[必須]


  • あと文字入力できます。

動機[必須]

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

はじめてイプロスをご利用の方はじめてイプロスをご利用の方

イプロス会員になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

イプロス会員の方

メールアドレス
パスワード

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

株式会社カナメックス 厚木工場

枚葉自動マルチスピンプロセッサー  が登録されているカテゴリ

開く

分類カテゴリから探す

  • ロームの評価キットシリーズにセンサメダルが新登場
  • 暑い現場を5℃冷やす。霧+ファンの冷房装置『COOLJetter』

最近チェックした情報

クリップ

気になる製品・カタログ・企業などがあったらクリップに保存しておくと便利です。

  • 建築建材インテリア(製造)
  • キーマンインタビュー