株式会社カナメックス G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
- 最終更新日:2010-12-14 13:33:02.0
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。
基本情報G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
【特徴】
■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応
■ レジスト残渣/有機物残渣の剥離洗浄
■ 金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄
■ 固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄
■ 受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄(成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、
バックグラインド後など)パーティクル除去、ファイナル洗浄
■ 表面改質洗浄
■ ベベル、端面洗浄など
□その他詳細についてはカタログをご覧ください
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型番・ブランド名 | WSR-A200CBT WSR-A300CBT |
用途/実績例 | 詳細はお問い合わせください |
カタログG8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
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