真空バルブの世界標準、VAT社のミニUHVゲートバルブです。
VAT社独自のMONOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。
軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。
基本情報VAT社ミニUHVゲートバルブ
●フランジサイズ:ICF70、NW25KF、NW40KF、NW50KF
●アクチュエータ:手動式、圧空式(複動、単動)
●オプション:リミットスィッチ、電磁弁
●使用圧力範囲:0.2MPa~10e-8Pa
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用途/実績例 | 超高真空機器関係 真空・光部品・科学機器 省力製造・生産・情報機器 計測機器・電源 |
カタログVAT社ミニUHVゲートバルブ
取扱企業VAT社ミニUHVゲートバルブ
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