ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップ
高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップを有しており、補助ポンプも油回転及びドライポンプの選択が可能です。お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。
基本情報高真空排気装置 TPSシリーズ/DPSシリーズ
【特徴】
■高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応
■空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減
■場所を選ばない100V 電源
■メインフレーム・ベースにアルミを採用、軽量化を実現
■使いやすさを追求したコンパクト設計
【ラインナップ】
■ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>シリーズ
・MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に
・起動・停止に要する時間が短い
・不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用
■油拡散ポンプ排気システム<DPS>シリーズ
・より低コストで高真空雰囲気を得られる
・三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能
・保守点検が容易
□その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
| 価格情報 | ***** |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TPSシリーズ/DPSシリーズ |
| 用途／実績例 | 詳細は、お問い合わせ下さい。 |
取扱企業高真空排気装置 TPSシリーズ/DPSシリーズ
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