検出が難しい2.0×1.6mm以下のワークにも対応可能
■水晶デバイス製造装置 グロスリーク検査装置
小型の水晶振動子に対応したグロスリーク検査装置です。
〈特長〉
・常圧と加圧時のCI値の変化量を測定して、その変化量からグロスリークを判定。
この検査方法はワークサイズに関係なく、側定できるため、エアリーク試験装置では検出が難しい2.0×1.6mm以下のワークにも対応可能!
・PFA独自のCI値測定システムにより、高速かつ安定的にCI値を測定することが可能!
また、このグロスリーク検査と水晶振動子の特性検査、レーザマーキング、テーピングなどを組み合せた装置の設計・製作しています。
●本検出方法は特許取得済です。
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基本情報水晶デバイス製造装置 グロスリーク検査装置
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