パネルガードEX フィルター日本インテグリス

300-500L/min対応、大流量フィルター

大流量アプリケーションに対応する新設計のカートリッジ。
1本で300L/min以上の大流量を実現。
多様な用途に対応するメンブレン材質と孔径ラインアップ。

関連リンク - http://www.entegris.com/nihon/ProductGroup_catLMC_…

基本情報パネルガードEX フィルター

【主な仕様】
孔径：　0.1～30µmまで各種
材質：　フィルター疎水性PTFE、親水性PTFE、親水性PSF、PPの4種類
　　　　　ハウジング PVDFまたはPPの2種類
接続：　65Aユニオン

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型番・ブランド名	Panelgard™
用途／実績例	FPD、HDD等のガラス基板の洗浄

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取扱企業パネルガードEX フィルター

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム上記製品の開発、販売、サービス。