P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージピーアイ・ジャパン

高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、
高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。

【特徴】
○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm
○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現
○直動式の高速バージョン
○真空対応および非磁性バージョン
○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御
○パラレル計測によるアクティブ軌道制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部

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基本情報P-733.2／3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ

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型番・ブランド名	P-733.2・P-733.3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ
用途／実績例	応用例・画像処理／安定化・走査型顕微鏡・表面形状解析・バイオテクノロジー・半導体試験・マスク／ウェハー位置決め・マイクロマニピュレーション・高平坦度／直進度のナノポジショニング