P-734 XY ピエゾスキャナピーアイ・ジャパン

振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100 x 100μmのリニアストロークを実現します。

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、
サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、
100 x 100μmのリニアストロークを実現します。

【特徴】
○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御
○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御
○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部
○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

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基本情報P-734 XY ピエゾスキャナ

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用途／実績例	応用例・走査型顕微鏡・各種計測／干渉計・半導体試験・マスク／ウェハー位置決め・画像処理／安定化・バイオテクノロジー・マイクロマニピュレーション・ナノポジショニング