ピーアイ・ジャパン株式会社 3軸高精度位置決めピエゾステージ　P-561－P-563

最終更新日：2023-06-21 15:35:20.0
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高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸

PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。

【特徴】
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○動作軸：XYZ軸
〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○比類のないスキャニング平坦度
○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能
○センター開口部66 x 66mm

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基本情報3軸高精度位置決めピエゾステージ　P-561－P-563

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価格情報	お気軽にお問い合わせください
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名	P-561・P-562・P-563 PIMars(TM) XYZピエゾシステム
用途／実績例	応用例・走査型顕微鏡・マスク／ウェハー位置決め・干渉計・各種計測・バイオテクノロジー・マイクロマニピュレーション