P-611.ZピエゾZステージピーアイ・ジャパン

コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、
クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

基本情報P-611.ZピエゾZステージ

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格情報	****** お気軽にお問い合わせください
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください
用途／実績例	応用例・フォトニクス／集積光学・マイクロ機械加工・半導体試験