P-5x8シリーズピエゾZ/チップ/チルトステージピーアイ・ジャパン

最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。

P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、
オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。

【特徴】
○1軸および3軸バージョン
○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現
　（オープンループは～240μm/2.4mrad）
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○センター開口部66 x 66mm
○静電容量センサーによる高いリニアリティ

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基本情報P-5x8シリーズピエゾZ/チップ/チルトステージ

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型番・ブランド名	P-518、P-528、P-558ピエゾZ/チップ/チルトステージ
用途／実績例	応用例・各種計測・干渉計・光学・走査型顕微鏡・マスストレージ装置試験・レーザーテクノロジー・マイクロ機械加工