PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z ピーアイ・ジャパン

最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度！

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、
サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。

【特徴】
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

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基本情報PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z

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型番・ブランド名	P-620.Z－P-622.Z PIHera(TM)高精度ステージ
用途／実績例	応用例・干渉計・顕微鏡検査・ナノポジショニング・バイオテクノロジー・品質保証試験・半導体技術