株式会社MARUWA 窒化アルミニウム部品

優れた熱伝導性、高い電気絶縁性、およびシリコン(Si)に近い熱膨張率の特性を持ち、高熱伝導性材料として注目されています。

窒化アルミニウムは、その高熱伝導性、高耐食性を活かして、半導体製造装置用のヒーターや静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレートなどで使用されています。 また、MRI等の医療機器用の部品にも使用されています。 MARUWAでは長年培ってきた材料技術をベースに、研究開発・素材作製・機械加工まで一貫した体制を確立しています。 独自のホットプレス法と様々な機械加工を用いた生産により、半導体製造装置や医療関連における最先端の技術要求を満たすことが可能です。

基本情報 窒化アルミニウム部品

【特長】
・金属アルミニウムに匹敵する優れた熱伝導率
・シリコンに近い熱膨張率
・高い電気絶縁性
・フッ素系ガスなどに対する耐プラズマ性
・欠陥となるボイドがない緻密な焼結体
・目的に応じた材料選択(高熱伝導タイプ/高純度タイプ)
・半導体製造装置関連に対応したサイズ

【推奨サイズ】
φ180~380mm × 1~10mmt (将来的にφ550対応予定)
※上記サイズ以外もカスタム対応いたします。

●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、もしくはお問合せください。

価格情報 お気軽にお問い合わせください
納期 お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください
用途/実績例 【用途】
・半導体製造装置用部品(ヒーター、静電チャック、サセプタ、クランプリング、カバープレート)
・医療機用部品

取扱企業 窒化アルミニウム部品

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株式会社MARUWA 本社,東京支店,関西支店,東北営業所,北信越営業所,九州北営業所,R&Dセンター

○エレクトロニクス用セラミックス及び電子部品の開発・製造・販売 ○産業用セラミックス及び電子部品の開発・製造・販売

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