テクノクオーツ株式会社 石英ガラス製品 半導体製造装置用製品
- 最終更新日：2011-02-28 09:57:05.0
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200～400工程…複雑な半導体製造のプロセスを支える石英ガラス製品
半導体製造工程に多用される石英ガラス・シリコン製品
基本情報石英ガラス製品 半導体製造装置用製品
【特徴】
○透明で、高耐熱性、高耐酸性、抜群の機械強度を特性に持つ石英ガラス製品は、
半導体製造プロセスに欠かせません。
○テクノクオーツ社の製品は、半導体製造の前工程加工装置に多数採用されています。
○成膜用各製品を始め、プロセス周辺機器である各種ヒーター、分析装置等あらゆる工程で
テクノクオーツ社製品が使用されます。
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| 用途／実績例 | 半導体製造・前工程 ・ウェーハ洗浄 石英角槽、石英ボート、超純水加熱装置、クオーツヒーター、デフロンヒーター ・成膜 石英反応管、石英ボート、管状ヒーター ・エッチング 石英リング、石英ベルジャー、マントルヒーター、ラバーヒーター ・拡散 石英反応管、石英ボート、管状ヒーター ・薄膜形成 石英反応管、石英ボート、管状ヒーター、角状ヒーター |
カタログ石英ガラス製品 半導体製造装置用製品
取扱企業石英ガラス製品 半導体製造装置用製品
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○半導体製造装置用製品 [反応管、キャリアボート、ベルジャー、石英リング、 シリコン電極] ○理化学機器用製品 [石英ガラスセル、G・Lクロマトグラフィー用製品、テドラーバッグ] ○その他 [半導体製造用加熱機器（ヒーター）]
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