テクノクオーツ株式会社 耐プラズマ表面処理 CVDイットリアコート製品
- 最終更新日：2011-02-28 10:19:28.0
- 印刷用ページ
環境対応型の新商品開発
CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度・透明保護膜です。
基本情報耐プラズマ表面処理 CVDイットリアコート製品
【特徴】
○耐プラズマ性に優れたイットリア膜で機材表面をカバー
○CVD法で密着性が高い緻密イットリア膜を形成
○イットリア膜中の不純物含有量は、溶融石英ガラス相当
○300mmパーツ対応
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
| 価格情報 |
****** お気軽にお問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください |
| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |
カタログ耐プラズマ表面処理 CVDイットリアコート製品
取扱企業耐プラズマ表面処理 CVDイットリアコート製品
-
-
○半導体製造装置用製品 [反応管、キャリアボート、ベルジャー、石英リング、 シリコン電極] ○理化学機器用製品 [石英ガラスセル、G・Lクロマトグラフィー用製品、テドラーバッグ] ○その他 [半導体製造用加熱機器（ヒーター）]
耐プラズマ表面処理 CVDイットリアコート製品へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
