日本インテグリス合同会社 SB300 自動ドア対応300mmウェーハ出荷容器（FOSB）

基本情報SB300 自動ドア対応300mmウェーハ出荷容器（FOSB）

【クリーンで確実なウェーハ搬送】
SB300は、ウェーハ搬送時に高度なウェーハ保護を提供するために設計および製造されています。
◎超高純度のポリカーボネート製ハウジングは、寸法安定性が高く、パーティクルおよびアウトガスの発生を低く抑えます。
◎ガスケットによる密閉とフィルター内臓により、外部からのパーティクル汚染を抑えます。
◎ドア内部には特殊な形状のクッションが加工されており、ウェーハの回転を最小限に抑えます。
◎成型加工されたウェーハ接触面は、寸法精度が高くパーティクルの発生を抑えます。
◎人間工学に基づいて設計および配置されたハンドルは、作業者による適切な取り扱いを実現します。

【最適化された自動化インターフェース】
SB300は、信頼性の高い自動化インターフェースおよび相互連携性を提供する様々な機能を採用しています。
◎FIMS対応（SEMI E62準拠）、低トルク開閉ドア
◎10mmフルピッチ、高精度ウェーハ接触水平面
◎高剛性ロボットフランジ、コンベア用レール、キネマティックカップリング

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取扱企業SB300 自動ドア対応300mmウェーハ出荷容器（FOSB）

日本インテグリス合同会社

液体・ガスの精密ろ過／精製製品：フィルター、ピューリファイヤー、ガス精製システム。 ガスシリンダー製品：イオン注入プロセス用ガスシリンダー。 液体の移送製品：バルブ、継手、サニタリー配管部品、薬液容器・送液システム。 液体の制御／管理製品：ディスペンスシステム、流量コントローラ、流量計、濃度計、溶存酸素濃度計、個数カウント式粒度分布測定器、ゼータ電位測定器、薬液濃度モニタリングシステム。 デバイスの保護／搬送関連製品：ウェーハ／ディスクシッパー、ウェーハ／ディスクキャリア、ウェーハ／レチクルポッド、チップトレー。 特殊材料関連製品：高純度グラファイト、シリコンカーバイト、PVDコーティング（イットリア、アルミナ等）、 PECVDコーティング（シリコン、SiC、DLC等）。 表面処理材料・部材関連製品：CMP後洗浄用薬液、エッチング後洗浄用薬液、ダマシンプロセス用銅めっき液、CMPスラリー、CMP後洗浄用ブラシ、CMP用パッドコンディショナー。 先端成膜材料製品：各種絶縁膜材料、有機金属材料、High-k材料、固体成膜材料容器、液体材料供給システム 上記製品の開発、販売、サービス。

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