ミクロの限界を超えた除塵能力
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure ／ Vacuum ／Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用（特許取得）したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。
基本情報ドライクリーナ UVU-F型フラットパネル用超音波ドライクリーナ
【特徴】
○1.6μmの粉塵を100％除去可能
○ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換不要
○非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷不要
○クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用可能
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取扱企業ドライクリーナ UVU-F型フラットパネル用超音波ドライクリーナ
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