株式会社マイクロフェーズ 回転CVD炉
- 最終更新日：2020-02-13 11:10:09.0
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リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
基本情報回転CVD炉
【特徴】
○ 炉心管をモータ駆動で可変の速度で回転可能
○ 真空CVDモードにおいても回転可能
○ 粉体試料の各種CVD処理に最適。
●その他機能や詳細はお問い合わせください。
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください。 |
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| 価格帯 | 500万円 ~ 1000万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | ●詳細についてはカタログをご覧頂くか、お問い合わせ下さい。 |
取扱企業回転CVD炉
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◆ナノ成膜装置＝ CNT合成装置、 グラフェン成膜装置、 回転CVD炉、 ロータリキルンCVD装置、 負極材表面へのカーボンコートCVD装置、 ナノ粒子成膜装置、 真空蒸着装置など ◆ナノ材料＝ 垂直配向CNT、 CNT分散液、CNT樹脂複合材料、 伸び～るCNTゴムシート、 CNT黒体、 CNT熱伝導シート、 酸化チタン／炭化チタンナノチューブなど
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