試料に4本の針状の電極を直線上に置き、外側の二探針間に一定電流を流し、内側の二探針間に生じる電位差を測定し抵抗を求めます。
四端子法(電流電圧法)と同じ原理により、試料に4本の針状の電極を直線上に置き、外側の二探針間に一定電流を流し、内側の二探針間に生じる電位差を測定し抵抗を求めます。次に求めた抵抗に試料厚さ、補正係数RCF(Resistivity Correction Factor)をかけて体積抵抗を算出します。四端子法と比べ、試料上での電極形成の必要が無くなります。
基本情報四探針法による抵抗測定
【特徴】
○試料に4本の針状の電極を直線上に置き、外側の二探針間に一定電流
○内側の二探針間に生じる電位差を測定し抵抗を測定
○抵抗に試料厚さ、補正係数RCFをかけて体積抵抗を算出
○四端子法と比べ、試料上での電極形成が不必要
○JIS K7194
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