株式会社マイクロフェーズ CVDプロセスガス分析装置 MPQMS]

最終更新日：2020-02-13 11:10:09.0
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CVDプロセスのガス成分をその場で分析できる四重極質量分析システムです。

当社の各種ナノカーボン製造装置やバイオマス炭化装置にそのまま組み込んで使用できるように設計してあります。作動排気系を有し、高い圧力のCVD条件にも対応できます。

基本情報CVDプロセスガス分析装置 MPQMS]

【特徴】
○四十極質量分析計
○差動排気用高真空システム
○抽出データ管理用パソコン

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取扱企業CVDプロセスガス分析装置 MPQMS]

株式会社マイクロフェーズ

◆ナノ成膜装置＝　CNT合成装置、　グラフェン成膜装置、　回転CVD炉、　ロータリキルンCVD装置、　負極材表面へのカーボンコートCVD装置、　ナノ粒子成膜装置、　真空蒸着装置など ◆ナノ材料＝　垂直配向CNT、　CNT分散液、CNT樹脂複合材料、　伸び～るCNTゴムシート、　CNT黒体、　CNT熱伝導シート、　酸化チタン／炭化チタンナノチューブなど