液体気化器システム(DLI)
液体気化器システム(DLI) http://www.ipros.jp/public/product/image/b01/2000041155/IPROS3234009008057907018.png 液体流量制御にコリオリ式流量計Quantimを搭載し、コリオリ原理に基づき、温度と圧力の影響を受けない直接質量流量を測定できるため、高精度の流量質量を気化器本体に送り込むことができます。 理論上には、反応チャンバーへ供給した気化ガス質量は気化前の液体流量質量と同量になるため、気化ガス質量測定と制御用の設備は必要としないので、気化システムはシンプルになります。 ◆液体を霧状へ、高温ガスで気化。 ◆コリオリ式流量計Quantimで流量を制御し、液体質量=気化ガス質量。 ◆1種以上の液体導入が可能、ミックス気化ガスを生成。 ◆モジュール式で構成し、ユーザーが分解・メンテナンスでき、ランニングコストを低減。 ブルックスインスツルメント株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置 (DLI) Direct Liquid Injection Vaporizer System
  • 分解洗浄で繰り返し利用で、ランニングコストを低減!
    ブルックスインスツルメント株式会社
    液体がアトマイザーに噴射され、霧状でキャリアガスに接触した瞬間に気化される仕組みの液体気化器です。 高純度液体気化が実現でき、高温腐敗生産物と液体のキャリーオーバーが発生せず、複数のインレットに対応して、ミックス気化ガスを作り出すことが可能です。

    (⇒詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。)

基本情報液体気化器システム(DLI)

液体流量制御にコリオリ式流量計Quantimを搭載し、コリオリ原理に基づき、温度と圧力の影響を受けない直接質量流量を測定できるため、高精度の流量質量を気化器本体に送り込むことができます。

理論上には、反応チャンバーへ供給した気化ガス質量は気化前の液体流量質量と同量になるため、気化ガス質量測定と制御用の設備は必要としないので、気化システムはシンプルになります。


◆液体を霧状へ、高温ガスで気化。
◆コリオリ式流量計Quantimで流量を制御し、液体質量=気化ガス質量。
◆1種以上の液体導入が可能、ミックス気化ガスを生成。
◆モジュール式で構成し、ユーザーが分解・メンテナンスでき、ランニングコストを低減。

価格

-
※お問い合わせください

価格帯

納期

発売日

2011年01月

型番・ブランド名

(DLI) Direct Liquid Injection Vaporizer System

用途/実績例

-

よく使用される業種

鉄/非鉄金属、産業用機械、機械要素・部品、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、医療機器、製造・加工受託、その他

カタログ液体気化器システム(DLI)

  • 液体がアトマイザーに噴射され、霧状で高温ガスチャンバーに入り、高温ガスに接触した瞬間に気化される仕組みの液体気化器です。  高純度液体気化が実現でき、高温腐敗生産物と液体のキャリーオーバーが発生せず、複数のインレットに対応して、ミックス気化ガスを作り出すことが可能です。  液体流量制御にコリオリ式流量計Quantimを搭載し、コリオリ原理に基づき、液体の化学構成と流量の影響を受けない直接質量流量を測定できるため、高精度の流量質量を高温ガスチャンバーに送り込むことができます。  理論上には、反応チャンバーへ供給した気化ガス質量は気化前の液体流量質量と同量になるため、気化ガス質量測定と制御用の設備は必要としないので、気化システムはシンプルになります。

取扱会社液体気化器システム(DLI)

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