日本フッソ工業株式会社 日本フッソ工業 半導体製造装置
- 最終更新日：2018-01-19 16:19:46.0
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ウエット洗浄装置
高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。
基本情報日本フッソ工業 半導体製造装置
【特徴】
○表面の汚染物質の付着が少なくなる
○パーティクルが発生しにくい
○Siウェハのエッジのダメージが減少する
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
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取扱企業日本フッソ工業 半導体製造装置
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特殊エンジニアリングプラスチック特にフッ素樹脂、ポリイミド、ＰＰＳ等を機器、部品等に焼き付け処理することによりその機器、部品の問題点を解決し、ポテンシャルを大きく向上させます。
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