アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では多孔質セラミックスを手がけ始め、材質として、多孔質アルミナ・多孔質SiCの2種類を取り揃えております。 現在 数種類のラインナップがあり、用途別に皆様のご要望にお応えしています。 独自の成形技術により自由な気孔径、気孔率が可能な多孔質セラミックスを提案します。
多孔質セラミックスは、薄いウエハ・薄いフィルムなどの吸着治具として使用されています。 ガスは通しますが、プラズマは通さない為、プラズマ装置の治具として使われています。
多孔質のセラミックスですので、絶縁性・耐熱性があります。
大きさによりますが、平面平行度5μm程度が可能であり、装置の高精度化が可能になります。
こんな使い方はいかがでしょうか→ 一般的なアルミナの多孔質セラミックスの他に、SiCでの多孔質セラミックスも取り扱っておりますので、アルミナでは対応できない環境（急冷・急熱・フッ酸系の薬品使用）でのご利用に多孔質SiCを検討下さい。 急冷・急熱が必要な光学レンズ製造型でのご利用はいかがでしょうか。
基本情報多孔質セラミックス
多孔質セラミックスの中でも気孔率の違いから、アルミナ素材の【AZP60】、【AZPW40】、【AZPW45】と、SiC素材の【AZPS40】を取りそろえております。用途に応じてお選びください。
◆多孔質セラミックスの特徴
●材質：高純度アルミナ(純度99.6％)、炭化ケイ素（SiC）
●低熱伝導率
●低誘電率
●ネジ加工（タップ、ブッシュ、インサート）など複雑形状も製作可能
●気孔率は調整可能
◆多孔質セラミックスの用途
製品例：多孔質セラミックスを使ったチャック
●多孔質真空セラミックチャック
●部材の軽量化（比重：アルミより軽い）
●断熱プレート
●吸着板
●製膜装置などでの膜剥がれ防止部材
●低誘電体としてのアプリケーション
◆多孔質セラミックスの種類
弊社では、製造方法の違いから、いくつかの種類の多孔質セラミックをご用意しております。用途に応じて、ご希望のものをお選びください。
気孔部分が多いほど気孔率が上がり、空気を通りやすくします。
気孔率は調整可能ですので、別途ご相談ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合せによって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | ●多孔質真空セラミックチャック ●部材の軽量化（比重：アルミより軽い） ●断熱プレート ●吸着板 ●製膜装置などでの膜剥がれ防止部材 ●低誘電体としてのアプリケーション |
カタログ多孔質セラミックス
取扱企業多孔質セラミックス
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アスザックでは、アルミナ、炭化ケイ素、ジルコニアを始め、弊社が開発しました、 導電性のあるセラミックスのコルシードや、断熱セラミックスのアルシーマLなどのセラミックスを取り扱っております。 その他にも、多孔質セラミック・黒色セラミック・ック・構造用セラミックなど、お客様のニーズに合わせた材料開発も行っております。 どの材料が適しているかわからない。ということでもご相談ください。 原料の調合から機械加工まで一貫したセラミックス生産体制で、試作も迅速に対応いたします。 こんな材料がほしい、大きい部品を作りたい、あんなことが出来れば、、、 そう思ったら、まずはお気軽にお問い合わせください。 大型セラミックス製品でお困りの事がありましたら、なんなりとご用命ください。 スピーディーに対応させて頂きます。 全国どこへでも飛んで行きますのでお気軽にお問い合せ下さい。 営業所は本社がある長野県高山村、東京、大阪、福岡にあり、日本各地どこへでも迅速に訪問できる体制です。 製造工場は国内には長野県の高山村と塩尻市（大型セラミック専門工場）にあり、海外にはベトナムにあります。
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