超精密レーザー測長システム用光学部品　バーミラーカドミ光学工業

主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。

『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。
材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。

【特長】
○材質：クリアセラム、合成石英
○L寸法：１００ｍｍ～８００ｍｍ超
○面精度：数μｍ～λ／１０

※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。

基本情報超精密レーザー測長システム用光学部品　バーミラー

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取扱企業超精密レーザー測長システム用光学部品　バーミラー

カドミ光学工業株式会社

・光学硝子部品の製造および販売・光学硝子および光学結晶の研磨／穴あけ／接合加工・光学アッセンブリー社内設備品＜加工設備＞平面研削盤、円筒研削盤、自動芯取機、スライシングマシーン、ダライ盤、ビューラー、オスカー研磨機、電気炉、恒温恒湿槽＜検査設備＞ Zygo社製干渉計、オートコリメーター、三次元測定器、マイクロスコープ、クリーンベンチ