複合分子ポンプ　TG203 大阪真空機器製作所

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】
○広領域排気
　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
○大流量排気
　大量のガスを流せます。
○優れた耐久性
　不意の大気導入に強い構造になっています。
○長期間使用可能
　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

基本情報複合分子ポンプ　TG203

【製品の特長】
○腐食性ガスの排気に強いケミカル形
○不意の大気突入に強い構造
○外部からの衝撃に強い
○シリアル通信可能
○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 / CE

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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型番・ブランド名	TG203
用途／実績例	半導体製造電子銃排気、イオン源排気 FPD製造表面処理、表面改質各種電子部品製造管球製造、光学部品製造加速器、放射線施設、核融合研究熱処理研究開発その他詳細はお問い合わせください