分析・計測製品　ラングミュアプローブ測定ユニットアリオス

シングルラングミュアプローブはOリング軸シール方式により、真空容器内で直線移動可能な形状になっています。

プロセス用に限定し手動操作とすることにより簡素化しました。屈曲型は関節により先端を任意に曲げられる構造とし、フランジの直進方向以外の測定を可能にしています。
関節部は真空外から操作できませんが探針部全体が回転しますので円を描けます。直線移動とあわせ広い範囲の測定が可能です。どちらも規定のストローク範囲内を直線で移動させ、測定したい部分１点１点を測定していきます。

関連リンク - http://www.arios.co.jp/products/lpm.html

基本情報分析・計測製品　ラングミュアプローブ測定ユニット

【特徴】
○アリオスではラングミュアプローブを2種類用意しています。
　・シングルラングミュアプローブ
　・マルチポイントラングミュアプローブ
○さらにシングルラングミュアプローブには扱いやすい直線導入型と
　広い範囲の測定が可能な屈曲型（直線または回転付き）があります。
○電源とあわせ簡単にプラズマ密度測定装置が構成できます。

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