株式会社真空デバイス マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

基本情報マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

【主な特徴】
○マグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。
○膜厚ムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。
○コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。
○標準ターゲット金属は白金(Pt)。
○排気系はＲＰ１００Ｌ/min使用。クリンルーム用にスクロールポンプ（オプション）への変更が可能です。
○AUTOモード搭載。排気開始から脱ガス・雰囲気ガス導入・コーティング終了まで自動で行なえます。
○試料台には取り出し易い引出式試料ステージを採用。

【その他の特徴】
○シリコン基板の大型化にお応えする300mm径の大面積試料ステージをマグネトロンターゲット電極で実現。
○試料ステージの大型化で、12インチウェーハや多数のSEM用試料を同時にコーティングすることが可能で、検査作業を効率化。

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カタログマグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

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取扱企業マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

株式会社真空デバイス

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス

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