真空蒸着装置ＶＥ－２０３０真空デバイス

１歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。清浄高真空蒸着装置。

真空蒸着装置ＶＥ－２０３０はターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。TMPはロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。清浄高真空を手軽に！！ EVAC STARTのボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - https://www.shinkuu.co.jp/vacuum-vapor-deposition-…

基本情報真空蒸着装置ＶＥ－２０３０

【主な特徴】
○TMPはロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。
○清浄高真空を手軽に！！ VE-2030はEVAC STARTのボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
○VE-2030には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。

【その他の特徴】
○カーボン蒸着用カートリッジ：直径5mmまたは3mmのカーボンロッド用です。ヴェルジャー内の汚れを防止しながらカーボン蒸着ができます。
○モーター駆動ジンバル試料台：SEM試料のメタルコーティングに使用します。
○電子銃加熱蒸着装置：金や銀、アルミニウムなどの、比較的厚い蒸着膜作成に利用します。
○サーモモジュール冷却試料台：5°Ｃまで冷却、50°Cまで加温できます。
○加熱試料台：500°Cまで加熱できます。エピタキシー蒸着実験などに利用します。
○膜厚モニター：水晶発振式膜厚測定装置が装着できます。
○真空計：ピラニーゲージ、イオンゲージはオプションで装着できます。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせください
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
型番・ブランド名	ＶＥ－２０３０
用途／実績例	【用途】 ○ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。