アワーズテック株式会社 インライン型膜厚計の分析例

基本情報インライン型膜厚計の分析例

【特徴】
今回作製した蛍光X線膜厚計を成膜装置に装着して性能評価を行った結果、

○搬送に伴うフィルムの位置変動による誤差は、レーリー散乱線とのX 線強度比をとることで
　補正が可能であることがわかりました。
○Cu、Ni 及びCr 膜の検出下限は、Cu が1.5nm であり、Ni 及びCr は、1nm 以下と
　高感度で得られました。
○測定精度は静的精度及び動的精度ともCV=5%以下であり、極薄膜を高感度で
　測定することが可能でした。
○以上から、本膜厚計は、極薄膜厚のインライン測定に十分適用可能であると考えられます。
○また、膜厚測定のみならず、めっき液の分析等にも適用可能と考えられます。

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取扱企業インライン型膜厚計の分析例

アワーズテック株式会社

・エネルギー分散型蛍光X線分析装置（各種）の開発、製造、販売、レンタル。 分野 　　■環境 　　■電子材料、部品 　　■資源、エネルギー 　　■鉄鋼、非鉄金属 　　■化学 　　■機械 　　■文化財、考古学、科学捜査 　　■食品 　　■高分子材料 ・上記に関連するソリューション提案他。

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