リソテックジャパン株式会社 自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。

自動レジスト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布をスピーディに表示します。KV-300は、自動R-θステージ採用により、300mm基板に対応しながらもフットプリントを最小限に抑えた設計になっています。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

基本情報自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

【主な特徴】
○非接触にて500μm厚まで測定
○300mmウェーハに対応
○膜厚分布マッピング標準搭載
○ウェーハ厚さ測定機能 Si-71

【その他の特徴】
○300mmウェーハ用自動膜厚測定装置KV-300
→多種類基板、不定形基板から最大φ300mm基板まで対応した、自動ステージ及びマッピング機能搭載装置です。
○自動膜厚測定装置KF-10
→最大φ200mm基板に対応した、自動ステージ及びマッピングソフト搭載装置です。
その他に、低価格のマニュアルステージモデルを用意しています。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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型番・ブランド名 Foothill
用途/実績例 ●詳しくはカタログをご覧頂くか、お問い合わせください。

カタログ自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

取扱企業自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

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リソテックジャパン株式会社

微細加工プロセス用評価機器/製造装置の開発、製造、販売、輸出入、保守サービス

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