露光解析ツール　位相シフト･フォーカス･モニタリソテックジャパン

±25nm3σ以内の高精度。フォーカス･マトリクスが不要です。

露光解析ツール　位相シフト･フォーカス･モニタは±25nm3σ以内の高精度。フォーカス･マトリクスが不要です。既存のオーバーレイ計測器でフォーカス測定ができます。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.ltj.co.jp/photomask.php

基本情報露光解析ツール　位相シフト･フォーカス･モニタ

【特徴】
○±25nm3σ以内の高精度です。
○フォーカス･マトリクスが不要です。
○結果は露光量の影響を受けません。
○既存のオーバーレイ計測器でフォーカス測定ができます。
○データ収集が自動でできます。
○統計的工程管理(SPC)や詳細な分析にも利用できます。
○レンズの温度上昇、非点収差、フィールド･ティルトが評価できます。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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