BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃ テルモセラ・ジャパン

【UHV対応真空薄膜実験用面状加熱ヒーター】大学・研究機関のお客様に限定した安価で短納期なヒーター製品を用意致しました。

３種類のサイズ（Φ1, 2, 4inch）、豊富なヒーター素線バリエーション（Kanthal, Graphite, C/C Composite, SiC coating, W）、部品在庫を持つことにより短納期・安価な価格を実現しました。

【特徴】
● 予備ヒーター素線との交換が容易
● 取り扱いが簡単（M6スタッドボルト、支柱）

【標準付属品】
● 熱電対：K素線タイプアルミナ絶縁スリーブ付き（*C, Rの場合は別売）
● 取付用スタッドボルト

【オプション】
● 標準外素線も用意しております（W, Nb, Mo, Pt/Re, WRe）
● 取付ブラケット
● ホルダー設置用タップ穴加工

基本情報BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

【対応基板サイズ】 
◉ Φ1inch
◉ Φ2inch
◉ Φ4inch
【ヒーター素線材質】 
◉ Max 1000℃：カンタル素線（真空中, Ar, N2, He ,O2, H2）
 ◉ Max 1800℃：Graphite, C/Cコンポジット素線_（真空中, Ar, N2）
 ◉ Max 1400℃：SiCコーティング素線_（真空中, Ar, N2, O2）
 ◉ Max 1600℃：タングステン素線_（真空中, Ar, N2, He, H2）

■ 標準規格品, 部品在庫を用意しておりますので短納期対応可能。
■ 3 種類のサイズ, 豊富なヒーター素線バリエーション：Kanthal, Graphite, C/C Composite, SiC coating, W素線
■ 標準付属品：M6 スタッドボルト, または取付支柱

価格情報	詳細は当社までお問い合わせください。
価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	お問い合わせください ※仕様により納期が変動します、当社までお問い合わせ下さい。
型番・ブランド名	BHS series
用途／実績例	PVD（スパッタ, ALD, PLDなど）CVD基板加熱ヒーター、分析装置試料加熱用ステージ、高温基板加熱ステージ・ホルダー、など。