ナノメートルの位置検出・厚み測定などに最適。もとの物理量を正確に知る測定器
変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出し、それを電気量に変換して、もとの物理量を正確に知る測定器を非接触式変位計、厚さ計と呼んでいます。測定方式により静電容量方式、レーザー方式、光ファイバ方式等があります。ナノメートルの位置検出、姿勢制御、平面度、厚み測定、精密モータ、ハードディスク、各種ディスクなど幅広い用途でお使い頂けます。詳しくお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
基本情報変位計・厚さ計カタログ
【特長】
○レーザー方式（光ヘテロダイン）
→超高分解能、超高速応答、干渉計ならではの高性能
→測定スポット径７０μm
○静電容量方式/高速応答モデル（アクティブ型）
→極細Φ０．１mmプローブ/高速応答
→小型の対象を測定可能/高速の変位測定に対応
→多種多様なプローブ
○静電容量方式/高安定モデル（パッシプ型）
→高分解能、高安定、小型プローブ
○光ファイバ方式
→厳しい環境下の測定
→高温、高磁界、油中
→高速応答
○レーザー方式（三角測量型）
→広い測定範囲
→設定距離が大きい
→低価格
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