検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」アローズエンジニアリング

傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現

検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に
高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むことができます。ウエハーサイズも４インチから８インチ迄、対応可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

基本情報検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

【特長】
○１台のカメラでエッジ３面の検査が同時にできる
○ウエハ厚み０．２ｍｍ～１．５ｍｍまで調整可能
○トリプル光学系とインテグレイト照明で黒抜けしない最適な無影照明を実現
○オリフラ部を含めた外観検査が可能
○画像計測分解能１０μｍ

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取扱企業検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

アローズエンジニアリング株式会社

1.半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売 2.各種半導体装置周辺機器の修理・オーバーホール 3.半導体製造装置の付帯設備工事及び保守・保全 4.中古半導体装置及び中古ユニット・中古部品の販売 5.金属機械加工・特殊樹脂加工の設計・製造・販売 6.瞬低保護装置（VoltageSagProtector）の製造販売 7.各種検査機器・顕微鏡の販売 8.工業薬品の販売