リフトオフ装置　※テスト可能機種ありダルトン

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタマイズ致します。

ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。

【ラインナップ】
・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり
・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。
・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現
・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作
・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置
・ML型（研究開発・量産向け）…SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置

上記６種類のラインナップに、６種類のオプションをつけられます。
オプションの詳細は、下へスクロールしご覧ください。

当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます（オンライン対応可）

※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

【オプション】
・Suffix System…剥離層の超音波の効率を向上
・DoM Jet System…液中高圧Jet機能とクイックダンプ機能でHU型、SL型、ML型の機能を向上
・超音波モニター…超音波洗浄設備の音圧監視システム
・USF System…大量のスラッジを高効率に回収するシステム。ISF Systemとの併用も可
・ISF System…剥離層で出るスラッジを分離、改修するインラインスラッジ除去装置
・新Jetチャンバー機能…チャンバ―内に付着したスラッジの自動クリーニングシステム

※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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用途／実績例	LED製造工程、レーザー製造工程、光デバイス製造工程等

取扱企業リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

株式会社ダルトン

研究・検査・医学・教育施設（ドラフトチャンバー・各種実験台・流し台等）およびこれらの施設のプランニング、製作・施工・販売。排ガス・廃液処理装置、恒温恒湿室、低温試験室等の設計・製作・施工・販売。クリーンルーム、バイオクリーンルーム、バイオハザード対策用キャビネット、アイソレーター等の無塵無菌装置、関連機器の設計・製作・施工・販売。エッチングブース等、半導体関連機器の設計・製作・施工・販売。粉粒体加工機械（粉砕、造粒、混合、分級、乾燥、ラボ機他）の設計・製作・施工・販売。