ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。
ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。
【特長】
■全自動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置
■手動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置
■RCA洗浄装置
■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。
■キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます。
■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能。
■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能。
■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください。(例:TMAH、KOH、HF、HCLなど)
■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能。
■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能。
※当社の東京テストセンター(墨田区)にて、テストを実施頂けます(オンライン対応可)
※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報ウエハー洗浄装置(バッチ式)※テスト可能機種あり
【カスタマイズ可な機能】
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ(自動メカ付)
○扉センサー(自動メカ付)
○圧力スイッチ
○温度センサー(恒温度仕様)
○自動消火システム(有機用)
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス(有機用)
○爆圧ハッチ(有機用)
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 半導体製造工程、電子材料製造工程、等 |
カタログウエハー洗浄装置(バッチ式)※テスト可能機種あり
取扱企業ウエハー洗浄装置(バッチ式)※テスト可能機種あり
ウエハー洗浄装置(バッチ式)※テスト可能機種ありへのお問い合わせ
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